Ultra High Resolution Field Uzinduzi Scanning Elektroni Mikroskopu Regulus mfululizo
Mitambo ya SU8240, SU8230, SU8220 na SU8010 ilijumuishwa tena na kupatikana katika Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 na Regulus 8100.
'Regulus mfululizo' urithi uchunguzi na uchambuzi utendaji wa mifano ya sasa na vifaa SU8200 mfululizo wa kelele ya chini baridi uwanja risasi e-bunduki*1Inaweza kupata hali ya juu ya utulivu.
Kwa kuboresha mfumo wa optiki ya elektroniki, Regulus 8240/8230/8220 iliongezeka kwa azimio hadi 0.7 nm katika hali ya 1 kV na Regulus 8100 iliongezeka kwa azimio hadi 0.8 nm.
Zaidi ya hayo, ili kutumia kikamilifu uwezo wa ultra-high azimio, ukubwa wa ukubwa pia imeongezeka kutoka mara milioni moja iliyopita hadi mara milioni mbili*1ya.
Regulus 8240 / 8230 / 8220 / 8100 pia imeboresha utendaji wa msaada wa mtumiaji, ambayo hufanya kuwa rahisi kwa watumiaji kuelewa kanuni za kugundua ishara mbalimbali ngumu na kusaidia watumiaji kutoa utendaji bora wa chombo kikamilifu.
- *1
- ya Regulus 8240/8230/8220
-
sifa
-
vipimo
sifa
- Kufukuza baridi uwanja bunduki wa elektroniki pamoja na 'SU8200 mfululizo'*2
- Kutumia mkondo thabiti wa mwanga wa juu ulioonekana baada ya Flashing kama kipindi cha uchunguzi thabiti, na kufanya utendaji bora wa uchunguzi na uchambuzi wa azimio la juu katika hali ya voltage ya kasi ya chini
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Kutumia uchafuzi ndogo, high utupu sampuli ghala
- Matumizi ya nishati filter (chaguo), inaweza kuonekana mbalimbali vipengele tofauti*2
Uchunguzi wa azimio la juu chini ya voltage ya chini sana ya kutua

Mfano: chembe za dhahabu
Voltage ya kutua: 10 V
Uchunguzi wa Ultra High Resolution

Mfano: Pt catalyst
Voltage ya kasi: 30 kV
High azimio EDX uchambuzi chini ya chini ya kasi voltage

Mfano: Sn mpira
Voltage ya kutua: 1.5 kV
- *2
- ya Regulus 8240/8230/8220
vipimo
| Mradi | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Uamuzi wa pili wa elektroniki | 0.7 nm (Kuongeza kasi ya voltage 15 kV) 0.8 nm (Voltage ya kutua 1 kV)*3 |
0.6 nm (kasi ya voltage 15 kV) 0.7 nm (Voltage ya kutua 1 kV)*3 |
|||||
| Voltage ya kutua | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
| Kuongeza kiwango | Mara 20 ~ 1,000,000*4 | Mara 20 ~ 2,000,000*4 | |||||
| Mfano wa Benki | Udhibiti wa sampuli | 3 axis motor kituo (chaguo 5 axis motor kituo) | 5 axis motor ya kuendesha | ||||
| Kuhamia mbalimbali | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
| Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5~70° | ||||||
| Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
| Kurudisha | - | - | - | ± 0.5 μm chini ya ± 0.5 μm | |||
- *3
- Kuchunguza katika hali ya kupunguza kasi
- *4
- Kiwango cha ukubwa kulingana na 127 mm × 95 mm
Jamii za bidhaa zinazohusiana
- Mfumo wa ion ya kuzingatia (FIB / FIB-SEM)
- TEM / SEM sampuli kabla ya usindikaji wa kifaa
