Muhtasari
Vipimo vya mtiririko wa ubora ni sehemu muhimu sana katika vifaa vya utengenezaji wa semiconductor. Utulivu wa kazi yake mara nyingi hukuwa sababu muhimu ya mafanikio na kushindwa ya mchakato wa semiconductor.
HORIBA STEC, Kama mtengenezaji wa mita ya mtiririko ulimwenguni kote na sehemu ya soko ya zaidi ya 35%*1, kwa muda mrefu daima kutoa bidhaa za ubora wa juu, mbalimbali kwa viwanda vya semiconductor. Sasa, na teknolojia mpya kabisa, HORIBA STEC ni kukuza aina mpya ya udhibiti wa mtiririko wa ubora duniani kote: mfululizo Z500.
Kulingana na mifano ya zamani, mfululizo wa Z500X ulifanya mapinduzi mapya kabisa, na imeathiriwa kubadilisha baadaye ya teknolojia ya kudhibiti trafiki. Wakati huo huo huo hutoa kazi zote zinazohitajika kwa wateja kudhibiti mtiririko, kubadilishwa kwa gesi ya mchanganyiko, mtiririko wa mchanganyiko. Wateja wanaweza kubadilisha kwa urahisi aina ya gesi ya mtiririko na vipimo kulingana na mahitaji ya mchakato *2.
Zaidi ya hayo, kwa njia ya ubunifu wa kiufundi wa vifaa vya bidhaa, mfululizo wa Z500 unajikidhi kikamilifu mahitaji ya kubuni ya bidhaa za kijani za RoHS na kuongeza thamani ya bidhaa kwa wateja.
High utendaji Z500 mfululizo wa mtiririko mita, itakuleta mshangao zaidi. Ulimwengu wote unashuhudia kuzaliwa kwa kipimo kipya cha mtiririko wa wingi ambacho kitabadilisha sekta nzima ya semiconductor.
*1 Tazama ripoti ya utafiti wa VLSI ya 2007.
*2 Kazi ya gesi ya mchanganyiko, mtiririko wa mchanganyiko.
Makala
Usahihi wa juu: kuweka thamani ya mtiririko ± 1.0%.
Usahihi linear MFC ni fidia na polynomial karibu curve, teknolojia hii kuhakikisha upatikanaji wa usahihi wa kudhibiti juu katika mbalimbali za udhibiti. Ili kuboresha usahihi wa udhibiti wa aina mbalimbali za gesi halisi, HORIBA STEC imetengeneza mfumo wa kipimo cha kiwango cha gesi na kukusanya data ya calibration ya gesi mbalimbali za mchakato kwa msingi wa majaribio mengi.
Jibu la kasi ya juu
SEC-Z500X inatumia mfumo wa hivi karibuni uliotengenezwa wa "PID inayobadilishwa" kuhakikisha mabadiliko kati ya hatua zote mbili za mtiririko wa kuweka yanakamilishwa ndani ya sekunde 1 wakati wa kuweka mtiririko tofauti, data ya PID itafanywa marekebisho ya moja kwa moja, hata baada ya aina ya gesi na mabadiliko ya mtiririko, data ya PID inaweza kuboreshwa moja kwa moja ili kufikia majibu ya kasi.
Mpango wa gesi ya mchanganyiko, mtiririko wa mchanganyiko
Bidhaa mpya ya HORIBA STEC inaruhusu wateja kubadilisha kwa urahisi aina ya gesi na mtiririko katika uwanja kuwa halisi. Programu yetu ya kuanzisha Z500 ni rahisi na rahisi kutumia. Bora zaidi, kukamilika kwa mabadiliko haya hakuhitaji hata kuondolewa kwa MFC kutoka kwa mfumo. Hii inaweza kupunguza kiasi kikubwa cha vifaa vya wateja, wakati huo huokoa muda na gharama.
Bidhaa zinazohusiana na nyingine